  MINISTERIO DE EDUCACIÓN Y CIENCIA CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS
PLIEGO DE CLÁUSULAS TECNICAS PARA EL SUMINISTRO E INSTALACION
DE UN ELIPSOMETRO ESPECTRAL DESTINADO AL INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE MADRID.
OBJETO DEL PLIEGO:
El objeto del presente pliego es definir las características técnicas y funcionales de Un elipsómetro espectral basado en el modo de medida de compensador rotatorio que permita determinar los parámetros elipsometricos Ψ (0º-90º), y Δ (0º-360º) , el grado de despolarización de la luz y la transmisión.
Código CPA:334023
Código CPV:33436000-5
PRECIO DE LICITACION:
El precio máximo de licitación, incluidos IVA e impuestos, será de 155.000 Euros.
PLAZO DE EJECUCIÓN:
El plazo máximo para la ejecución del presente contrato será de 4 meses
LUGAR DE ENTREGA E INSTALACION:
Instituto de Microelectrónica de Madrid
C/ Isaac Newton, 8 PTM
28760 Tres Cantos, Madrid
PARTES Y COMPONENTES DEL SUMINISTRO:
El equipo estará compuesto de:
Una fuente luminosa de Xenón, unos elementos ópticos para la focalización y colimación de la luz y fibras ópticas, un polarizador, un compensador rotatorio, y analizador, un monocromador, un detector multicanal, un goniómetro motorizado, una platina xy motorizada, un sistema automático de alineamiento de la muestra, un microcopio de observación equipado con una cámara ccd, una célula para líquidos, y un soporte que sirva de base para ensamblar todos los anteriores componentes.
Una electrónica para la alimentación de la fuente luminosa, control del los movimientos del polarizador, compensador y analizador, control del movimiento del goniómetro y de la platina xy, control del sistema de detección y del sistema de dispersión y de imagen.
Un ordenador con pantalla plana y con al menos un puerto PCI libre y comunicado con la electrónica de control.
Una o varias aplicaciones informáticas instaladas en el ordenador que permitan alinear automáticamente la muestra, calibrar el sistema de medida, adquirir los datos de forma automática (como mínimo Ψ , Δ y grado de despolarización), mover el goniómetro para realizar adquisiciones a varios ángulos y mover la platina xy para realizar cartografía de los parámetros adquiridos
Unas aplicaciones que permitan adquirir espectros, controlar el modo de adquisición y transferir los datos, todo ello desde LabView , mediante DDE commands.
Un programa de análisis de los resultados de medida para ejecutar en el ordenador ligado al equipo y dos licencias adicionales de dicho programa.
Una o varias muestras de calibración.
Unos manuales del sistema y de las diversas aplicaciones informáticas suministradas.
Una mesa y estructura donde se ubique el equipo.
Un curso de formación para la utilización del sistema y de las aplicaciones informáticas.
ESPECIFICACIONES TÉCNICAS DEL SUMINISTRO:
El método de medida será el de compensador rotatorio.
El rango espectral de medida será, como mínimo , de 250 nm a 1600nm.
Los detectores serán de Si de alta sensibilidad (CCD back-thinned) para el rango visible y de GaInAs para el infrarrojo.
La resolución por píxel de 1.6nm en el visible y 3.2 nm en el infrarrojo.
El diámetro mínimo del spot sobre la muestra será, en incidencia normal, de 100 micras.
La precisión en la medida de ±0.08º en Ψ y ±0.05º en Δ (medidos en haz directo).
La reproducibilidad de 0.015º en Ψ y 0.015º en Δ (medido en haz directo).
El ángulo de incidencia se podrá variar mediante el goniómetro automático entre 45 y 90 grados con una precisión de ±0.02 grados y con una reproducibilidad de 0.005 grados.
El porta muestra debe admitir muestras de espesor máximo de 20 mm.
La carrera de la platina xy será de 100x100mm y el paso mínimo de 1 micra.
El programa de análisis de los resultados debe permitir ajustar diversos parámetros de medida al mismo tiempo y modelizar y ajustar estructuras que presenten anisotropías ópticas, estructuras con espesores no uniformes, estructuras con rugosidades, estructuras con variación en profundidad de las propiedades ópticas, estructuras de multicapas y estructuras que presenten efectos de despolarización por reflexiones múltiples. Dispondrá de diversos modelos para describir las constante ópticas así como una librería de las constantes ópticas de dieléctricos, semiconductores y metales.
Manuales
Se incluirán todos los manuales de uso, técnicos y de mantenimiento.
Curso de Formación
La empresa adjudicataria incluirá un curso de formación sobre el uso y aplicaciones del equipamiento de forma que permita el máximo aprovechamiento del mismo.
OTRAS CONDICIONES
Cumplimiento de las obligaciones empresariales que establece la Ley de Prevención de Riesgos Laborales, así como la normativa y reglamentación que le sea de aplicación en su caso vr. Gratia (Norma Básica de Edificación NBE-CPI-96, Reglamento Lugares de Trabajo, etc.) así como evitar o reducir en lo máximo posible, y siempre dentro de la legalidad, cualquier impacto ambiental (y dentro de él la generación de residuos) que el desarrollo del trabajo o actividad, objeto del contrato, pudiera generar.
GARANTÍA:
Garantía mínima de 2 años a todo riesgo.
Se valorará la ampliación de plazo de garantía o periodos de mantenimiento a todo riesgo gratuitos.
VALORACIONES:
Se valorará la actualización de los programas de medida y análisis de los resultados.
PUESTA A PUNTO E INSTALACIÓN:
El equipo o sistema se suministrará completo, incluyendo todos aquellos elementos necesarios para su correcta instalación, puesta a punto y funcionamiento.
FORMA DE PAGO:
El pago se hará efectivo en un único plazo, una vez recibida y facturada la totalidad del suministro. La factura deberá incluir todas las menciones legalmente obligatorias. Los plazos previstos en el artículo 99 del TRLCAP se computarán a partir de la entrega por el contratista de la respectiva factura y debidamente recepcionado el objeto del contrato.
DOCUMENTACIÓN TÉCNICA:
La documentación Técnica se presentará en la forma exigida en el Pliego de Cláusulas Administrativas Particulares y debidamente firmada por el representante de la empresa.
En el sobre de documentación técnica, se incluirá una copia de dicha documentación en CD. Los ficheros tendrán el formato PDF ó WORD. La inclusión de este CD, no exime de la entrega de la documentación tal como requiere el Pliego de Cláusulas Administrativas Particulares.
PLIEGO 90/08 ELIPSOMETRO ESPECTRAL. INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE MADRID.
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C/ Serrano, 117
28006 Madrid España
Tel.: 91 585 50 00
Fax: 91.585.50.98
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